在半導(dǎo)體制程行業(yè)中，芯片的生產(chǎn)要經(jīng)過幾百道工序，會使用到大量的特種氣體。而特種氣體大多易燃易爆、劇毒、腐蝕性的氣體，為了安全輸送和使用這些危險性氣體，半導(dǎo)體廠中會安裝電子特氣系統(tǒng)，配置電子特氣柜GC、氣體分配箱VMB和特氣泄漏監(jiān)測報警器等特種設(shè)備。

電子特氣柜

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全，應(yīng)具備多種功能，如柜內(nèi)氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等，提高使用安全系數(shù)，有效的保護生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次，半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

SEMI S2的對象是針對半導(dǎo)體制程設(shè)備的，是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標準，也即為EHS標準，因為半導(dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難，因此對設(shè)備廠商的設(shè)備產(chǎn)品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

SENI S2認證書

由以上描述可知，在半導(dǎo)體制程工藝中，需要“安全”和“穩(wěn)定”的使用特種氣體，普通的氣瓶柜無論是在材質(zhì)上還是功能上都無法滿足要求，所以半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)配置有SEMI S2認證的電子特氣柜。最后，感謝您的閱讀！